E84
E84 是半導體自動化設備常見的通訊介面,應用於晶圓載具(Load Port)與自動化傳送系統之間的訊號傳輸與設備整合。提供 E84 相關設備的客製化、訂製、維修與整合服務,可依不同半導體機台與自動化設備需求進行規劃。
服務涵蓋 E84 通訊介面、Load Port、晶圓傳送系統及半導體設備整合,協助客戶提升設備之間的通訊與自動化運作效率,適用於半導體設備、晶圓製程設備及自動化機台等應用。